• ISYSTEM® CONTROLLER

    While monitoring tool operation, the Applied iSystem controller collects valuable data that can be used to generate resource consumption reports and greenhouse gas emissions reports among other environmental factors. Each small footprint iSystem controller is capable of supporting up to four tools and is easily installed on both Applied and non-Applied Materials 200mm and 300mm process tools. With more than 3000 tool connections currently installed, manufacturers have reported rapid ROI after using the iSystem controller.

我們的作業流程.

從客戶端角度出發，以專業知識為基礎，提供最適合的解決方案

了解需求
時程規劃
專案執行
維護及保養

iSystem™物聯網智慧節能系統介紹 .

依生產機台所需能耗自動調變，實現全時段動態節能

半導體晶圓製造過程中會使用不同的製程氣體，一般位於非生產區的附屬設備皆以固定全載方式運轉，導入「iSystem™物聯網智慧節能控制系統」之後，將其做為生產機台與附屬設備之間的對接橋樑，根據半導體設備通訊標準讀取生產機台的ECID/SVID，獲得製程氣體實際使用狀態，再依照附屬設備運轉穩定性與去除效率驗證所定義的控制參數，即時對附屬設備下達對應的指令，使其可依生產機台使用的製程氣體，同步自動調變運轉參數與能耗以達成節能效果。

能源管理系統+AI技術，更精準使用能源

為更系統化落實節能行動並確保成效，「ISO 50001（Energy Management System, EnMS）能源管理系統」結合iSystem™，根據iSystem™收集附屬設備的能耗資料，建立能源績效指標（EnPI）與能源基線（EnB），自動計算節能量；同時與內部資訊技術單位合作，開發建置iSystem™異常管理系統與節能報表系統，以利更精準掌握能源使用量，並進一步計畫將能耗資料儲存於雲端，透過AI與機器學習技術自動偵測、即時通報能源使用異常狀況，亦可藉由大數據分析獲得最佳的運轉操作參數，極大化能源使用效率。