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iSystem™物聯網智慧節能系統介紹 .

依生產機台所需能耗自動調變，實現全時段動態節能

半導體晶圓製造過程中會使用不同的製程氣體，一般位於非生產區的附屬設備皆以固定全載方式運轉，導入「iSystem™物聯網智慧節能控制系統」之後，將其做為生產機台與附屬設備之間的對接橋樑，根據半導體設備通訊標準讀取生產機台的ECID/SVID，獲得製程氣體實際使用狀態，再依照附屬設備運轉穩定性與去除效率驗證所定義的控制參數，即時對附屬設備下達對應的指令，使其可依生產機台使用的製程氣體，同步自動調變運轉參數與能耗以達成節能效果。

能源管理系統+AI技術，更精準使用能源

為更系統化落實節能行動並確保成效，「ISO 50001（Energy Management System, EnMS）能源管理系統」結合iSystem™，根據iSystem™收集附屬設備的能耗資料，建立能源績效指標（EnPI）與能源基線（EnB），自動計算節能量；同時與內部資訊技術單位合作，開發建置iSystem™異常管理系統與節能報表系統，以利更精準掌握能源使用量，並進一步計畫將能耗資料儲存於雲端，透過AI與機器學習技術自動偵測、即時通報能源使用異常狀況，亦可藉由大數據分析獲得最佳的運轉操作參數，極大化能源使用效率。